شرکت ASML با رونمایی سیستم لیتوگرافی EUV جدید با توان ۱,۰۰۰ وات، مرزهای تولید تراشه را جابهجا کرد و ظرفیت تولید را ۵۰ درصد افزایش داد.
به گزارش سرویس سختافزار تکناک، شرکت ASML اعلام کرد در آستانه معرفی نسل تازهای از سیستم لیتوگرافی EUV با نام Twinscan NXE قرار دارد؛ سامانهای پیشرفته که با بهرهگیری از منبع نوری ۱,۰۰۰ واتی، ۳۳۰ ویفر را در هر ساعت میتواند پردازش کند. پردازش این مدل انتظار میرود تا سال ۲۰۳۰ وارد مرحله تولید شود و در مقایسه با نسخه کنونی NXE:3800E حدود ۵۰ درصد توان بیشتری ارائه میدهد و هزینه ساخت و زمان تولید تراشهها را کاهش چشمگیری دهد.
مایکل پِرویس، سرپرست فناوری منبع نوری EUV در ASML، در گفتوگو با رویترز اظهار کرد: «دستیابی به توان یک کیلووات دستاوردی چشمگیر است. ما چشماندازی روشن برای رسیدن به توان ۱,۵۰۰ وات و حتی ۲,۰۰۰ وات داریم.»
نسل جدید دستگاههای EUV از برخورد پالسهای لیزر CO₂ با قطرات بسیار ریز قلع برای تولید تابش ماورای بنفش شدید استفاده میکند. در این روش، ASML تعداد قطرات قلع را دو برابر کرده و به ۱۰۰ هزار عدد در هر ثانیه رسانده و بهجای یک توالی لیزر، از دو توالی پالس بهره گرفته است؛ روشی که دستیابی به توان ۱,۰۰۰ وات را ممکن میسازد.
افزایش توان تولید، مشکلات فنی تازهای را نیز پیش روی ASML قرار داده است؛ ازجمله کنترل ذرات قلع و طراحی سامانههای جدید جمعآوری ضایعات و توسعه اپتیکهای با توان انتقال چشمگیر برای هدایت دقیق انرژی به سطح ویفر. افزونبراین، بهرهگیری از منبع نوری به این قدرت مستلزم استفاده از مواد و پوششهای مقاوم تازهای است که کل زنجیره تولید نیمهرسانا را درگیر فرایند تطبیق و نوآوری خواهد کرد.
به گفته تامزهاردور، شرکت ASML سالهاست دستیابی به بهرهوری ۳۳۰ ویفر در ساعت را تا سال ۲۰۳۰ در دستور کار خود دارد و فناوری جدید گام اساسی در مسیر تحقق این برنامه به شمار میرود. هرچند منبع نوری هزار واتی هنوز در نقشه راه EUV با گشودگی عددی پایین (Low-NA) و بالا (High-NA) ادغام نشده است، مدل Twinscan NXE:4000F با ظرفیت بیش از ۲۵۰ ویفر در ساعت برای سال ۲۰۲۷ و نسخه NXE:4200G با توان بیش از ۲۸۰ ویفر در ساعت در سال ۲۰۲۹ معرفی خواهند شد.
در همین حال، سامانههای High-NA شامل EXE:5200C که قرار است در سال آینده عرضه شود و مدل EXE:5400D با ظرفیت بیش از ۱۹۵ ویفر در ساعت در سال ۲۰۲۹، مسیر توسعه این فناوری را تکمیل میکنند.
